超音波小型液体流量計

MODEL: SLF-100

  • 半導体装置の純水薬液の流量管理に
  • 広いレンジアビリティー
  • 低消費電力
  • コンパクト設計
  • 半導体装置の純水薬液の流量管理に

製品の仕様

標準仕様

変換器仕様

型式 SLF-100
測定原理 超音波伝播時間差演算方式
環境条件 温度: -10〜50℃
表示部 LCD表示器(16文字×2行)
積算流量または瞬間流量
設定項目 フルスケール流量、流量単位、他
測定精度 ±2%RD(流速1〜10m/s。但し、流体中心温度±2℃、±2cm/s(流速1m/s以下))
出力 アナログ(DC4〜20mA、負荷抵抗450Ω以下)
パルス(オープンコレクタ DC30V, 0.25A)
警報接点(オープンコレクタ DC30V, 0.25A)
電源 DC12〜30V
消費電力 2.5VA以下
重量 約330g

センサ仕様

型式 SLT-12、14、15型
構造 クランプオン式
材質 PVC, PTFE
測定対象 純水、薬液(別途ご相談ください)
適合配管 配管口径
SLT-12 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05)
1/2インチ(I.D.9.53 O.D.12.70)
3/8インチ(I.D.6.35 O.D.9.53)
SLT-14 3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05)
1/2インチ(I.D.9.53 O.D.12.70)
SLT-15 1インチ(I.D.22.23 O.D.25.4)
3/4インチ(I.D.15.88 O.D.19.05)配管材質 PFA
流体温度 SLT-12: 10〜60℃
SLT-14: 10〜70℃
SLT-15: 10〜50℃
ケーブル長 5m(最大10m)
測定範囲 0.5〜230ℓ/min(1インチ)
0.2〜120ℓ/min(3/4インチ)
0.1〜40ℓ/min(1/2インチ)
0.1〜20ℓ/min(3/8インチ)
重量 SLT-12: 約450g
SLT-14: 約350g
SLT-15: 約360g

 

構成品

標準構成品

変換器 SLF-100 1台
検出器 SLT-12/SLT-14/SLT-15 1組
取り付けバンド 2ヶ
シリコングリス 1本

 

図面

系統図

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