工業機器

気体、液体の流量や界面を超音波で測ります。【魚群探知機・流量計他、超音波計測器メーカー ソニック】

製品

超音波液体流量計
μLF-300S(センサ分離型),μLF-300(一体型)
μLF-300
IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微少領域の流量管理に
  • 1mL/minからの微少流量測定
  • デジタル信号処理による微少流量高精度測定
  • センサ部分が流体に非接触構造
  • 広いレンジアビリティー
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製品仕様

μLF-300S(センサ分離型)

型式 μLF-300S + μLT-8I (1/8 inch) または μLF-300S + μLT-4I (1/4 inch)
測定原理 超音波伝播時間差方式
被測定液体 純水、各種薬液
* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください
適応流体温度範囲 15℃~80℃
* 60℃以上でご使用の場合は事前にご確認ください
流体圧力 0.5MPa 以下
流体動粘度 100mm^2/sec 以下
流量範囲 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I)
測定精度 ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 条件:室温, 定温の水)
±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min)
±0.5%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min 条件:室温, 定温の水)
±4ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min)
繰返し性 ±0.2% (純粋, 液温±0.5℃, 30秒平均値)
電源 DC 24V ±10%
消費電力 3.6W以下
重量 変換器 240g, 検出部 70g
サイズ W x H x D (mm) 変換器 97 x 49 x 127
検出部 90 x 25 x 20 (チューブ含まず)
検出部
チューブ素材 PFA (フッ素樹脂)
チューブ径 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm
構造 IP65相当
付属ケーブル 5m, コネクタ接続
入出力部
デジタル入出力 4線式RS-422, 4線式RS-485
アナログ出力 4-20mA (瞬時流量), 負荷抵抗500Ω以下
積算パルス出力 1ch (オープンコレクタ)
アラーム出力 1ch (オープンコレクタ)
接点入力 1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア)
キー入力 4入力ボタン

μLF-300(一体型)

変換器
型式 μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)
測定原理 超音波伝播時間差方式
測定液体 水、水溶液、油類、各種薬液
* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください
適応流体温度範囲 10℃~60℃
* 60℃以上の場合は事前にご確認ください
環境温度範囲 温度:0℃~50℃(結露がないこと)
流量範囲 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-308I)
0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-304I)
測定精度 ±1%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min, 室温, 水の場合)
±2ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min)
±1%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min, 室温, 水の場合)
±8ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min)
繰返し性 ±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値)
応答性 10 msec
構造 屋内仕様 (IP65相当)
電源 DC 5V ±10%
消費電力 1.5W以下
重量 350g (本体部のみ)
検出部
チューブ素材 PFA (フッ素樹脂)
チューブ径 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm
出力部
シリアルポート 4線式RS-422
通信プロトコル データビット 8bit 固定, 偶数パリティ固定, ストップビット 1bit 固定
ボーレート 38400 baud
シリアル出力データ内容 瞬時流量値、積算流量値、エラーコード

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