気体、液体の流量や界面を超音波で測ります。【魚群探知機・流量計他、超音波計測器メーカー ソニック】
- 超音波液体流量計
μLF-100 
- IPA・純水・薬液等の半導体製造工程における微小領域の流量管理に
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- 1mL/minからの微小流量測定
- デジタル信号処理による微小流量高精度測定
- センサ部分が流体に非接触構造
- 広いレンジアビリティー(1:500)
製品仕様
| 変換器 | |||
|---|---|---|---|
| 型式 | μLF-100 | ||
| 測定原理 | 超音波伝播時間差デジタル相関演算方式 | ||
| 環境条件 | 温度：-10～50℃(ただし、LCD表示は0～50℃) | ||
| 表示部 | LCD表示器(16文字×2行) 積算流量または瞬間流量(切替表示) |
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| 設定項目 | フルスケール流量、流量単位、パルスレート、その他 | ||
| 測定精度 | ±2%RD(流速0.5～10m/s) ±1cm/s(流速0.5m/s未満)ただし、流体中心温度±2℃ |
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| 出力 | 電流出力 | DC4～20mA(負荷抵抗450Ω以下) | |
| 積算パルス出力 | オープンコレクタ(定格DC30V、0.25A)1ch | ||
| アラーム出力 | オープンコレクタ(定格DC30V、0.25A)2ch | ||
| デジタル出力 | RS232Cシリアル出力 瞬時流量、積算流量、アラーム情報 | ||
| 電源 | DC12～30V | ||
| 消費電力 | 3.6VA以下 | ||
| 重量 | 約330g | ||
| センサー | |||
| 型式 | μLT-6P / μLT-3P | ||
| 構造 | セミクランプオン式(流体非接触式) | ||
| 測定対象 | 純水、IPA、スラリー他(設定パラメータの変更により各種薬液に対応) | ||
| 適合配管 | 配管口径 | φ6×4 | |
| 配管材質 | PFA管 | ||
| 適用条件 | 温度：10～70℃(ただし、口径と測定流体による) 0.6MPa |
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| ケーブル長 | 5m(最大10m) | ||
| 測定範囲 | 0～7.5L/min / 0～1.8L/min | ||
| 重量 | 約260g | ||
